一、真空機組工作過程
　?、傥鼩猓宏栟D子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉子開始轉動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中。在隨后的轉子旋轉過程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大，并與吸氣孔口保持連通。隨著轉子的旋轉，齒間容積不會再增加，在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結束。
　　②壓縮：陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉于沿逆時針方向旋轉。此時氣體被轉子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉于齒的嚙合就要開始減小。隨著轉子的旋轉，齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程。
　　③排氣：齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，封閉的齒間容積的體積變為零。
　　二、性能特點
　　1、工作腔內無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質而出現的運行故障，提離了系統的穩定性，可獲得清潔真空。工作腔及螺旋轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣的工況。
　　2、工作腔內無油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率髙，尾氣處理方便，同時也避免了油氣和油煙等的排放，環境污染小。
　　3、真空機組泵腔為間隙密封結構，對少置小聯粒粉塵不敏感；采用防爆配置時可用于抽除易燃易爆的氣體。
　　4、氣體在泵腔內無壓縮，泵工作時泵腔內溫度達到1001以上，使可凝性氣不易冷凝，且泵腔內為苴通結構，排氣口在泵腔底部，雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。
　　5、泵腔內各零件采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，抽氣效率離，可大大簡化抽真空系統。
　　6、泵采用封閉式結構，避免了泵工作時因動密封磨損而出現的潤滑油外漏現象。
　　12.真空機組結構合理，能適應多種維護、保養措施，對多種對泵有危害性的情況擁有相對應的處理方法，并可配置相對應的結構或附件，針對性強、維護效果好，操作簡單，處理時間短，能更好地保證設備的正常運轉。
　　13.轉子均作級動平衡試驗，運行時泵的振動小，啟動快，啟動電流小，啟動時對電網的沖擊小，啟動后泵即達正常抽速。